氣相沉積爐的特點是什么 　　氣相沉積爐可用于以碳氫氣體為碳源的復合材料的化學氣相沉積。其中CVD沉積爐是指高溫下的氣相反應，例如，金屬鹵化物、有機金屬、碳氫化合物等的熱分解，氫還原或使它的混合氣體在高溫下發生化學反應以析出金屬、氧化物、碳化物等無機材料的方法。這種技術開始是作為涂層的手段而開發的，但目前，不只應用于耐熱物質的涂層，而且應用于高純度金屬的精制、粉末合成、半導體薄膜等，是一個頗具特征的技術領域。 　　設備特點在于：(1)在低溫下合成高熔點物質;(2)析出物質的形態在單晶、多晶、晶須、粉末、薄膜等多種;(3)不僅可以在基片上進行涂層，而且可以在粉體表面涂層，特別是在低溫下可以合成高熔點物質，在節能方面做出了貢獻，作為一種新技術是大有前途的。 　　下面小編詳細列舉幾條爐子的特點，以便大家能更好的了解爐子的性能。 　　氣相沉積爐工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m，能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求；并且，采用多溫區獨立控溫，溫度均勻性好； 　　與此同時采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強； 　　氣相沉積爐采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好； 　　氣相沉積爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。

　　如何維護保養真空熔煉爐 　　如何維護保養真空熔煉爐？大家知道嗎？今天，小編和大家介紹下。 　　1、操作人員要了解各種外表、泵，設備的各部分。閱覽并了解各種說明書。 　　2、冷卻水水壓應堅持0.1～0.2Mpa之間，出水溫度≤45℃。； 　　3、壓縮空氣壓力在0.4～0.5Mpa之間。 　　4、每爐開機前，要查看維護氣的氣瓶容量，避免氣體充缺乏，更換氣瓶。 　　5、開機后如有異常情況，應立即掃除或停機查找緣由。 　　6、常常查看各部分的回水量，作業時應確保各部分有足夠的冷卻水。 　　7、真空熔煉爐停止運用時，應將爐內氣體抽暇，長期不必，要充入維護性氣體，并把設備水冷套內的循環水放掉。 　　8、機械泵、羅茨泵應定時換油加油，羅茨泵的油杯中要堅持一向有油。換油時必定把廢油放潔凈。 　　9、分散泵換油時，內部如有氧化，要把分散泵內部的氧化層處置潔凈，然后再換上新油。 　　10、充入真空熔煉爐的維護性氣體，純度不該小于99.99%。 　　11、本設備不允許運用易燃易爆和具有腐蝕性氣體作為維護氣氛。 　　12、設備外表及外表外表要堅持清潔，擦洗爐體內壁不允許有帶有水份及沾有非真空類用油的抹布擦洗。 　　13、氣動體系的氣動三連件上的油水分離器要常常放水，油霧器內應寫入真空分散泵油。 　　14、真空熔煉爐的整機電壓要確保在350～420V范圍內。三相要平衡。