真空燒結爐是在真空的環境中對被加熱的物品進行保護性燒結的一類爐子，其加熱方式是有很多種的，例如，電阻加熱、感應加熱、微波加熱等。 　　據使用者了解，在抽真空后充氫氣的保護狀態下，真空燒結爐利用中頻感應加熱的原理，使處于線圈內的鎢坩堝產生高溫并通過熱輻射傳導到工作上。適用于科研、軍工單位對難熔合金如鎢鉬及其合金的粉末成型燒結。同時，真空燒結爐在真空或保護氣氛條件下利用中頻感應加熱的原理，使硬質合金刀頭及各種金屬粉末壓制體實現燒結的成套設備，是為硬質合金、金屬鏑以及陶瓷材料的工業生產而設計的。 　　此外，真空燒結爐現如今被廣泛的應用于碳化硅陶瓷的反應燒結工藝，同時也可用于特種陶瓷材料，硬質合金，陶瓷金屬復合材料以及難熔金屬組成的合金材料的高溫真空燒結。針對一些材料的高溫燒結工藝使得真空燒結爐具備不錯的耐熱性、絕緣性以及可靠性的設計。新型電極結構杜絕了高溫爐電極的漏水現象，并且可以加熱系統中的易損部件，也更便于維修和更換。

　　真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規燒結，是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備，它設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。下面，洛陽八佳科技小編就為您介紹真空燒結爐的應急措施. 　　一. 冷卻水異常 　　1、確認加熱電源已停止。 　　2、爐外發生漏水，冷卻水量異常時，應盡快采取應急措施，如能保證水量，請繼續保持真空，如不能采取應急措施，保持原狀，確認設備冷卻下來。 　　3、冷卻水發生異常時，設備處于停止狀態，馬上接通緊急用冷卻水。 　　4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。 　　二 壓縮空氣的停止 　　1、壓縮空氣異常報警時，設備處于停止狀態，應盡快到備用的壓縮機房，讓其恢復工作。 　　2、真空中如壓縮空氣異常報警，且恢復需要較長時間時，則終止真空，讓設備停下來。 　　三 停電 　　1、停電時，如果斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。 　　2、如果在非升溫、加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，繼續運轉如需要較長時間，則將設備保持原狀。 　　3、如果正在加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，如果需要較長時間時，則保持原狀，讓設備自然冷卻下來。 　　四 加熱電源掉電 　　1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警。 　　2、接地故障。 　　3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。 　　4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發生放電)。電源出現故障，掉電的原因可以認為由于電介質擊穿而引起的放電。 　　五 充氣氣體(氬氣或氮氣)停止 　　1、抽真空開始前，氣體充入時間長或者無法充入時，請確認氣體管路是否被堵塞。 　　2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關聯的設備要全部停止后再進行檢查。 　　3、向真空室內充氣不能停止的情況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要關閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。 　　4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質量。 　　六 真空室壓力惡化 　　1、真空排氣時間比通常長時，應把設備停下來進行檢查，根據真空室內構造物不同狀態下放氣的影響，也有導致壓力升高的情況。 　　2、通過壓力上升測試或者用氦氣檢漏來確認是漏氣還有放氣的影響。 　　在真空和保護性氣氛中，對金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結，要獲得一定密度和具有一定機械性能的材料時，一般采用兩種工藝;即有壓燒結和無壓燒結。有壓燒結工藝是將粉狀材料置于真空和保護性氣氛中的高碳模具中，高溫加熱到軟化狀態時，加壓成型。這種工藝需要一種真空熱壓燒結才能實現。該燒結爐具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特點。目前這種爐型在我國還未見定型產品。