使用氣相沉積爐時需要特別注意哪些事項　　使用氣相沉積爐時需要特別注意以下幾點。大家一起看看吧。　　1、模具一般由用戶自備，模具材料基本采用高純石墨，其耐壓極限為40MPa。建議用戶在30MPa以下使用，加壓前計算模具上、下沖頭面積，換算成壓力。具體公式如下：系統允許加壓(噸)=上或下沖頭面積30MPa　　2、熱電偶為鎢錸型，使用后變脆，不能接觸。破損時請立即更換。其型號為W2型。　　3、冬季要注意氣相沉積爐循環水的保溫問題。否則容易發生自來水管破裂。　　4、使用后爐體應保持真空，爐內保溫層容易受潮，保持真空下次抽真空會更快。　　5、設備復雜，建議專人使用，專人負責，嚴格對初學者進行使用前培訓，有使用后檢查、操作使用記錄等設備使用規定。　　6、氣相沉積爐也可作為真空燒結爐使用。用于真空燒結爐時，請注意在爐內放置坩堝后，合上保溫板蓋后，不要忘記合上其中的小蓋。容易燒毀電爐。　　7、操作前觀察窗玻璃清潔，清掃爐內壁，觀察水壓情況，觀察爐內石墨有無損傷，開機后觀察儀表顯示是否正常，測試液壓系統是否正常工作。　　8、氣相沉積爐使用一年后，應將儀器送計量部門校準。

　　真空燒結爐的安全操作規程26條：　　1．中頻電源、真空爐爐體、感應圈之冷卻水源——蓄水池之水有必要充溢，水中不得有雜質。　　2．開動水泵，使其中頻電源，真空爐感應圈、爐體冷卻系統水循環正常，并調整水壓控制在規則值。　　3．查看真空泵電源系統，皮帶盤皮帶松緊，真空泵油是否位于油封查詢孔中線。查看妥后，人工翻滾真空泵皮帶盤，如無失常，可在關閉蝶閥的狀況下，建議真空泵。　　4．查看真空爐體內狀況，要求真空爐體內一級衛生，感應圈絕緣出色，密封真空膠帶具有彈性，標準合格。　　5．查看真空爐體的杠桿手把建議是否靈活。　　6．查看翻滾式麥氏真空計是否符合要求。　　7．查看石墨坩堝，裝爐配件是否完全。　　8．在以上準備就緒后，接通電源，中頻電源合閘，按中頻建議規則，試建議變頻，成功后連續變頻，方可開爐。　　9．真空爐體上蓋的查詢、測溫孔，每次開爐均需清潔處理，以便查詢和測溫。　　10．裝爐時應根據不同燒結產品，采用相應裝爐方式。按有關材料裝爐規則裝盤，不得隨意更改。　　11．為了堅持恒溫，避免熱輻射，發熱坩堝上加二層碳纖維，再罩上隔熱屏。　　12．墊好真空密封膠帶。　　13．操作杠桿手把，翻滾真空爐頂蓋與爐體親近重合，放下頂蓋，并鎖好固定螺母。　　14．緩緩翻開蝶閥，抽爐體空氣，至真空度抵達規則值。　　15．在真空度抵達規則要求后，開始建議變頻，調整中頻功率，按有關材料的燒結規則操作；升溫、保溫冷卻。　　16．燒結結束后，連續變頻，按連續變頻開關，逆變連續作業，斷開中頻電源分閘與斷開電源總閘。　　17．從爐體查詢孔查詢爐膛發黑后，先關閉真空泵蝶閥與斷開真空泵電流，再接自來水繼續冷卻感應圈和爐體，畢竟停水泵。　　18．中頻電壓750伏有觸電風險。在整個操作和查看過程中，要留神操作安全，不要用手觸摸中頻電柜。　　19．在燒結過程中，隨時從爐體周圍面查詢孔查詢感應圈是否產生放弧現象，如發現失常現象，應立即陳說有關人員處理。　　20．建議真空蝶閥應緩慢，否則會因抽氣過急而冒油，帶來不良后果。　　21．正確運用翻滾式麥氏真空計，否則會構成真空讀數差錯或因操作過急而使水銀溢出構成公害。　　22．留神真空泵皮帶盤安全工作。　　23．在墊真空密封膠帶，蓋爐體頂蓋時，留神避免壓手。　　24．凡在真空條件下，簡略蒸騰影響真空衛生，構成管道堵塞、真空泵臟化的工件或容器，不得入爐。　　25．凡產品加有成型劑(如油或白臘)，有必要脫掉方可入爐燒結，否則會構成不良后果。　　26．悉數燒結過程中，要留神水表壓力規模和冷卻水循環，避免產生事端。