真空燒結爐遇故障的緊急措施 　　在真空燒結爐中，利用中頻感應加熱的原理，在燒結爐中排空后，利用中頻感應加熱的原理，在燒結爐中產生鎢坩堝，使線圈中的鎢坩堝通過熱輻射進行工作，并對鐵及其合金進行粉末形成和燒結。安裝電爐的地方必須符合真空衛生的要求。周圍空氣應干凈干燥，通風狀況良好，工地不易揚塵等。在使用中，必須了解以下問題。 　　真空燒結爐主要用于半導體元件和功率整流裝置的燒結過程，可進行真空燒結、氣體保護燒結和常規燒結，是一系列半導體特種設備中的一種新型工藝設備，可在一個裝置上完成多個工藝流程。還可用于其它領域，如真空熱處理、真空真空焊接等。下面，系統介紹了燒結爐的應急措施。 　　***，異常冷卻水 　　1.核實加熱電源是否停止。 　　2.當爐外發生泄漏，冷卻水量異常時，應盡快采取應急措施。如果能保證水量，請繼續保持真空，如果不能采取緊急措施，保持原狀，并確認設備已冷卻。 　　3.冷卻水不正常時，設備處于停機狀態，應急冷卻水立即接通。 　　4.在高溫下，如果冷卻水停止，如果不能緊急供水，則水冷電極、熱交換器、真空燒結爐的真空室殼體和泵可能損壞。 　　第二，壓縮空氣的停止。 　　1.壓縮空氣異常時，設備處于停機狀態，備用壓縮機房盡快恢復，恢復工作。 　　2.如果壓縮空氣在真空燒結爐真空中出現異常報警，且恢復時間長，則真空終止，設備停止。

　　氣相沉積爐設備特點是什么　　氣相沉積爐適用于化學氣相沉積法制備碳-碳復合材料，也可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理，或以三氯甲硅烷（MTS）為氣源的材材料料表面抗氧化涂層、基體改性等。　　裝料方式有上裝料、底裝料、臥式三種裝料方式。該氣相沉積爐設備特點如下：　　1.多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；　　2.采用先進的控制技術，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內沉積氣流穩定，壓力波動范圍小；　　3.氣相沉積爐設備自動化高，關鍵執行電氣件采用進口；操作直觀、簡便，觸摸屏經過開發，可動態顯示爐子運行狀況并具有自我診斷功能，程序段可直接輸入。　　4.采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強。