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真空燒結(jié)爐熱調(diào)試方法
發(fā)布時(shí)間:2019-12-16   瀏覽:3870次

  真空燒結(jié)爐熱調(diào)試方法

  真空燒結(jié)爐以其內(nèi)部?jī)?yōu)異的工件處理環(huán)境而被用作各種熱處理和加熱工藝,同時(shí)可以做到對(duì)外部環(huán)境無(wú)污染,十分適用于我國(guó)現(xiàn)階段的環(huán)保需求,而且通過(guò)高度的機(jī)電一體化程度,可以做到在溫度測(cè)控精度提高的基礎(chǔ)上,使工件移動(dòng)、氣壓功率調(diào)節(jié)等通過(guò)編程進(jìn)行預(yù)先設(shè)定。

  當(dāng)我們購(gòu)買(mǎi)真空燒結(jié)爐全套設(shè)備按技術(shù)要求安裝完畢后,無(wú)缺件并有良好的接地時(shí),正確的調(diào)試才能保證接下來(lái)的各項(xiàng)使用工作順利進(jìn)行,下面隨八佳小編一起看看具體的真空爐的熱調(diào)試方法要怎么做吧。

真空燒結(jié)爐

  1、在爐子真空度不低于13.3Pa的情況下通電烘爐,在真空燒結(jié)爐爐溫緩慢升至1300℃的整個(gè)過(guò)程中,爐子真空度不應(yīng)低于13.3Pa,經(jīng)過(guò)充分烘烤 ,除氣后,壓升率達(dá)到技術(shù)要求時(shí)即可。

  2、極限真空度測(cè)量:不低于6×1.0-4Pa。

  3、工作真空度測(cè)量:不低于2.7Pa(在1000空爐時(shí))。

  4、壓升率測(cè)量:在真空燒結(jié)爐加熱至1200℃時(shí),經(jīng)過(guò)充分烘烤除氣后,爐溫冷卻至100℃以下時(shí)再測(cè)壓升率,應(yīng)達(dá)到0.5Pa/h。

  當(dāng)冷卻室真空度為1.33Pa時(shí),關(guān)閉真空燒結(jié)爐真空隔熱門(mén)、冷卻室真空閥,并立即向冷卻室爐充入氮?dú)?.06MPa時(shí),時(shí)間應(yīng)在 2.5(秒)完成,并且加熱室的真空度不得低于670Pa。


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  真空燒結(jié)爐遇故障的緊急措施   在真空燒結(jié)爐中,利用中頻感應(yīng)加熱的原理,在燒結(jié)爐中排空后,利用中頻感應(yīng)加熱的原理,在燒結(jié)爐中產(chǎn)生鎢坩堝,使線圈中的鎢坩堝通過(guò)熱輻射進(jìn)行工作,并對(duì)鐵及其合金進(jìn)行粉末形成和燒結(jié)。安裝電爐的地方必須符合真空衛(wèi)生的要求。周?chē)諝鈶?yīng)干凈干燥,通風(fēng)狀況良好,工地不易揚(yáng)塵等。在使用中,必須了解以下問(wèn)題。   真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元件和功率整流裝置的燒結(jié)過(guò)程,可進(jìn)行真空燒結(jié)、氣體保護(hù)燒結(jié)和常規(guī)燒結(jié),是一系列半導(dǎo)體特種設(shè)備中的一種新型工藝設(shè)備,可在一個(gè)裝置上完成多個(gè)工藝流程。還可用于其它領(lǐng)域,如真空熱處理、真空真空焊接等。下面,系統(tǒng)介紹了燒結(jié)爐的應(yīng)急措施。   ***,異常冷卻水   1.核實(shí)加熱電源是否停止。   2.當(dāng)爐外發(fā)生泄漏,冷卻水量異常時(shí),應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施。如果能保證水量,請(qǐng)繼續(xù)保持真空,如果不能采取緊急措施,保持原狀,并確認(rèn)設(shè)備已冷卻。   3.冷卻水不正常時(shí),設(shè)備處于停機(jī)狀態(tài),應(yīng)急冷卻水立即接通。   4.在高溫下,如果冷卻水停止,如果不能緊急供水,則水冷電極、熱交換器、真空燒結(jié)爐的真空室殼體和泵可能損壞。   第二,壓縮空氣的停止。   1.壓縮空氣異常時(shí),設(shè)備處于停機(jī)狀態(tài),備用壓縮機(jī)房盡快恢復(fù),恢復(fù)工作。   2.如果壓縮空氣在真空燒結(jié)爐真空中出現(xiàn)異常報(bào)警,且恢復(fù)時(shí)間長(zhǎng),則真空終止,設(shè)備停止。

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