真空燒結爐操作方便，結構緊湊，可以實現在一臺設備上完成多個工藝流程。但使用久了，也難免會出現冷卻水異常等狀況，那該如何處理? 　　當冷卻水發生異常時，要先確認真空燒結爐的加熱電源是否已經停止，設備此時應處于停止狀態，并且馬上接通緊急用冷卻水。 　　若爐外發生漏水，導致冷卻水量異常，應采取應急措施，如能保證水量，則繼續保持真空，如不能采取措施，保持原狀，直到真空燒結爐冷卻下來。 　　如果此類高溫熱處理爐在超過200℃高溫時，冷卻水停止了，若不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能會被損壞。

　　真空燒結爐是可進行真空燒結的的工藝，是半導體專用設備中一種新穎的工藝裝備，可用于其他領域內的真空熱處理工藝。當燒結爐出現冷卻水異常怎么辦? 　　發現工業爐出現異常時，要先確認加熱電源是否已經停止。如果真空燒結爐爐外發生漏水，冷卻水量異常時，應立即采取一些應急措施。如能保證水量，繼續保持真空;如不能則保持原狀，確認設備冷卻下來。 　　如果冷卻水出現異常時，真空燒結爐處于停止狀態，則立刻接通緊急用冷卻水。在保持高溫時，冷卻水就會停止，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵極有可能會被損壞。 　　因此，在使用高溫熱處理爐、真空速凝爐等此類工業爐時，一定要注意冷卻水是否異常，要時常檢查設備，做好平日的維護，才能延長設備使用年限。