氣相沉積爐的特點是什么 　　氣相沉積爐可用于以碳氫氣體為碳源的復合材料的化學氣相沉積。其中CVD沉積爐是指高溫下的氣相反應，例如，金屬鹵化物、有機金屬、碳氫化合物等的熱分解，氫還原或使它的混合氣體在高溫下發(fā)生化學反應以析出金屬、氧化物、碳化物等無機材料的方法。這種技術開始是作為涂層的手段而開發(fā)的，但目前，不只應用于耐熱物質(zhì)的涂層，而且應用于高純度金屬的精制、粉末合成、半導體薄膜等，是一個頗具特征的技術領域。 　　設備特點在于：(1)在低溫下合成高熔點物質(zhì);(2)析出物質(zhì)的形態(tài)在單晶、多晶、晶須、粉末、薄膜等多種;(3)不僅可以在基片上進行涂層，而且可以在粉體表面涂層，特別是在低溫下可以合成高熔點物質(zhì)，在節(jié)能方面做出了貢獻，作為一種新技術是大有前途的。 　　下面小編詳細列舉幾條爐子的特點，以便大家能更好的了解爐子的性能。 　　氣相沉積爐工作區(qū)尺寸可達2.5m×2m×4.5m，能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求；并且，采用多溫區(qū)獨立控溫，溫度均勻性好； 　　與此同時采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強； 　　氣相沉積爐采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好； 　　氣相沉積爐對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。

　　石墨化爐的冷卻方法 　　石墨化爐在運行中，爐溫達2300℃以上，導電電極與爐芯連結的一端就是在這樣的高溫下進行工作。導電電極的另一端與銅母線相連接，這就要保證與銅板的連接處的溫度要低于銅板的融化溫度，同時，因導電電極裸露在空氣中，必須在低于氧化溫度下工作。為此，一定要進行強制冷卻。目前基本有兩種冷卻方式。 　　1、直接淋水冷卻： 　　以鉆孔水管橫架于導電電極上，澆水于導電電極及其與銅母線的連接處，使之冷卻。這種直接冷卻方式簡單、方便，冷卻效果好。缺點是，冷卻水四濺，易對爐體滲水。而且這種方式需要安裝一泄水槽，水槽易阻塞，不及時處理，槽內(nèi)水就容易滲入爐內(nèi)，噴淋水也容易滲入爐內(nèi)，使爐子的壽命周期縮短，同時易使爐內(nèi)產(chǎn)品氧化。另外，在北方，冬季水槽四周容易結冰較多，不易處理。 　　2、直接內(nèi)冷： 　　在導電電極鏜孔后直接用絲堵堵上，再接上一長一短兩根水管，讓水直接流到電極的圓孔后再排出，從上述意義講，人造石墨只能稱作一種“多晶石墨”。不過這種“多晶石墨”已具備了理想石墨的基本特性。 　　3、金剛石的晶體結構 　　在金剛石的晶體結構中每個碳原子與相鄰的四個碳原子以共價鍵結合，呈正四面體配位，屬于等軸晶系，金剛石是典型的原子晶體，金剛石的這種結構特征，決定了金剛石不導電，導熱性也很差。在隔絕空氣的條件下加熱到1000℃時，金剛石轉變?yōu)槭Y構，在空氣中加熱到780℃左右會燃燒而生成二氧化碳。使用純度較高的人造石墨在高溫、高壓下可以獲得人造金剛石，但是這種人造金剛石的顆粒比較小。 　　這種方式的優(yōu)點是易將水系統(tǒng)做成全封閉或半封閉系統(tǒng)，不會向爐內(nèi)滲入。因為可以不用泄水槽，從而，用此方法的廠家，多把水系統(tǒng)做成半封閉系統(tǒng)。缺點是：冷卻效果不如直接淋水冷卻，對水質(zhì)要求較高，嚴禁缺水。否則爐頭溫度升高，再忽然通入冷水，易產(chǎn)生水爆，十分危險。 　　石墨化爐側墻分固定墻和活動墻 　　固定式側墻一般采用耐火磚砌筑，每隔一定間隔都要留一排氣孔，以使送電過程中爐芯內(nèi)的煙氣能順利排出。使用耐火磚做側墻，保溫效果好，使用壽命也稍長，但造價較高。 　　活動式側墻是由水泥、粘土、耐火磚碎塊等按一定比例配制而成，墻上留有排氣孔。使用時將活動側墻吊放在爐兩側、由槽鋼做成的柱子間。活動式側墻的優(yōu)點是經(jīng)濟、省工，且冷卻爐子時方便。缺點是不耐機械沖擊和熱沖擊，以及破損不能修補等。 　　此外，現(xiàn)在還出現(xiàn)了下半部為固定式，上半部為活動式的混合型側墻，兼顧了兩者的優(yōu)點，使用效果比較理想。槽鋼（或鑄鐵支架）主要起固定側墻的作用。通電爐芯由被加熱的產(chǎn)品和中間填充電阻料組成。通電后爐體有一定的熱脹力。