氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢　　氣相沉積爐主要用于半導體元器件及電力整流裝置的燒結工藝，可進行真空燒結、氣體保護燒結及常規燒結，是半導體專用設備系列中新穎的技術裝備，設計思路新穎，操作方便，結構緊湊，一臺設備即可完成多個工藝流程。也可用于其他領域的真空熱處理、真空釬焊等工藝，那么下面一起了解下爐子的使用必備技巧吧!　　氣相沉積爐在抽真空后氫氣保護的情況下，利用中頻感應加熱原理，使位于盤管內的鎢坩堝達到高溫，通過熱輻射傳導到工作中，適用于科研、軍工部門對鎢、鉬及其合金粉末進行成型燒結。安裝爐子的場地應符合真空衛生要求，周圍空氣清潔干燥，通風條件好，工作場所不易揚起灰塵等。它的日常使用方法：　　1、檢查控制柜內所有零部件及部件是否完好、完好?！　?、控制柜安裝固定在相應的基礎上。　　3、查看接線圖，參考電路圖，連接外接主回路和控制回路，可靠接地，保證接線無誤。　　4、檢查電器活動部位活動自如，無卡死現象。　　5、絕緣電阻不應小于2萬億歐姆?！　?、氣相沉積爐各閥門必須在關閉位置?！　?、控制電源開關置于斷開位置?！　?、手動調壓旋鈕逆時針轉動頭?！　?、將報警按鈕置于打開位置?！　?0、平面圖完成設備循環冷卻水連接時，建議用戶在氣相沉積爐總進出水管處再加一層備用水(可用自來水)，防止循環水故障或斷電引起密封圈燃燒。

　　真空速凝爐各組成部分及工作原理 　　真空速凝爐是利用真空感應熔煉的方法，在真空或惰性氣體狀態下把合金原料熔煉并澆鑄在水冷輥上急速凝固后再在水冷盤上進行慢速降溫。把合金變成30°C左右且大小、薄厚均勻的合金薄片的一種電熱設備。速凝爐已成為制造合金薄片的生產專用熔煉設備在釹鐵硼磁材的生產中可有效地減少ɑ-Fe生成。 　　真空速凝爐爐體為立式爐殼其內層為不銹鋼制成的園筒外層為碳鋼。兩層之間形成夾套，可以通冷卻水將傳到爐殼上的熱量帶走,以使爐壁溫度不超過60℃。中間開有保護氣氛通氣口。熱電偶測溫孔、抽氣孔及觀察孔。熱電偶有到溫自動退出裝置。紅外測溫觀察孔有玻璃氣吹防霧裝置,操作人員使用的觀察孔設有擋板。 　　爐蓋有內外封頭和法蘭組成,中間水冷爐蓋吊在啟閉機構上,板動啟動機構上的手柄可以將真空速凝爐爐蓋升啟10-15mm,爐蓋上有壓頭、壓力傳感器、排氣隔膜閥及爐蓋鎖緊裝置。 　　爐底也是由內外封頭和法蘭組成,中間水冷,固定在爐體底部,有電極引入,下壓頭進氣隔膜閥等組成,并裝可調節高度位移傳感器。 　　電爐真空系統采用配電磁放氣閥及油擴散泵。同時真空速凝爐還設有冷阱及機組，測量為復合真空計。