氣相沉積爐的特點是什么 　　氣相沉積爐可用于以碳氫氣體為碳源的復合材料的化學氣相沉積。其中CVD沉積爐是指高溫下的氣相反應，例如，金屬鹵化物、有機金屬、碳氫化合物等的熱分解，氫還原或使它的混合氣體在高溫下發(fā)生化學反應以析出金屬、氧化物、碳化物等無機材料的方法。這種技術開始是作為涂層的手段而開發(fā)的，但目前，不只應用于耐熱物質的涂層，而且應用于高純度金屬的精制、粉末合成、半導體薄膜等，是一個頗具特征的技術領域。 　　設備特點在于：(1)在低溫下合成高熔點物質;(2)析出物質的形態(tài)在單晶、多晶、晶須、粉末、薄膜等多種;(3)不僅可以在基片上進行涂層，而且可以在粉體表面涂層，特別是在低溫下可以合成高熔點物質，在節(jié)能方面做出了貢獻，作為一種新技術是大有前途的。 　　下面小編詳細列舉幾條爐子的特點，以便大家能更好的了解爐子的性能。 　　氣相沉積爐工作區(qū)尺寸可達2.5m×2m×4.5m，能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求；并且，采用多溫區(qū)獨立控溫，溫度均勻性好； 　　與此同時采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強； 　　氣相沉積爐采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好； 　　氣相沉積爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。

　　真空甩帶爐中真空泵的維護和注意事項的了解 　　真空甩帶爐中真空泵的清洗：泵油隨著爐中真空泵的運轉惡劣，因而需要通過油視窗查明的污濁程度及粘度情況，并及時替換真爐中泵油。周期：每六個月?lián)Q油清洗一次。 　　泵油替換步驟如下： 　　1、打開泵的吸氣管，5秒后使其開始運行。真空甩帶爐中泵內剩下的泵油容易被排除。 　　2、先拆下排氣管，再打開放油閥，然后倒出泵油。 　　3、關閉排油閥，把新的真空泵油從加油口注入。 　　4、如果真空甩帶爐中泵油的污染非常嚴重，必須添加些新泵油，通過幾分鐘運轉使其得到清洗，假如一遍清洗不到位，必須反復多清洗幾遍。 　　5、換上新泵油后，讓爐中泵開機運行，等爐的溫度升高以后在確認真空及限壓力。 　　6、檢修過程需清洗過濾網。 　　真空甩帶爐中真空泵在運行過程中的注意事項： 　　A、真空泵在爐中長時間運轉中產生高溫（40度-80度）。因此爐子在操作或剛停止運行后，在電機和泵體冷卻到正常溫度以前，不能觸摸表面。 　　E、維護保養(yǎng)爐中設備所使用的布條碎布等集中放置到規(guī)定的堆放地點，防止雜物進入泵內。 　　B、工作時發(fā)生緊急情況，立即關閉總電源后保修解決。 　　D、非維修人員嚴禁拆卸爐中真空泵零部件。 　　C、真空甩帶爐中設備若異常應立即停止運行，禁止強灌，持續(xù)帶病工作。